Mitsui Chemicals تطلق مادة لاصقة جديدة للتراص ثلاثي الأبعاد التي يمكن ربطها بشكل دائم في ظل ظروف درجة الحرارة المنخفضة
في اليابان ، تستكشف Mitsui Chemicals بقوة في أعمال مواد الترابط الجديدة لتطبيق التراص ثلاثي الأبعاد الذي يقدر بشكل متزايد في تغليف أشباه الموصلات المتقدمة.يمكن ربط التركيب مؤقتًا في درجة حرارة الغرفة ويمكن تحقيق ترابط دائم في درجة حرارة أقل من 150 درجة.لديها ميزة إضافية هي أن الرقائق لن تهجير بعد الترابط ومن المتوقع أن تساعد في تقليل المسافة بين الرقائق.حزمة كثيفة .
من أجل تحقيق أداء عالي في أشباه الموصلات المتقدمة المتعلقة بالذكاء الاصطناعي التولدي (AI) ، تتزايد أهمية تكنولوجيا التراص ثلاثي الأبعاد للرقائق المتراصة عمودياً.من حيث تكنولوجيا تراص رقائق IC ، من المتوقع أن يحل الترابط الهجين ، الذي يربط في وقت واحد الأقطاب النحاسية والطبقات العازلة ، محل اتصال اللحام الحالي ويصبح التيار السائد.طورت شركة Mitsui Chemicals مادة لاصقة جديدة للربط الهجين تستخدم في رقائق مكدسة (CoW) لربط الأقطاب الكهربائية النحاسية (Cu) معًا.
يمكن ربط المواد الجديدة مؤقتًا في درجة حرارة الغرفة وتحت الحمل المنخفض ، وربطها بشكل دائم في درجات حرارة منخفضة تصل إلى 150 درجة مئوية.بعد التصلب ، يمكن إجراء التلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP) دون الطين أو بقايا النحاس.لن يكون هناك أي تحول في الموقف بسبب التشوه بعد الانضمام.
بعد تطبيق المادة اللاصقة الجديدة وتصلبها على الركيزة مع القطب الكهربائي النقصي ، حتى لو بقيت المادة الغريبة أثناء عملية التقطيع ، فلن تتشكل الفراغات ولن تحدث عيوب الترابط بسهولة.لن تتم إزالة المواد اللاحقة من الرقاقة.يمكن للحواف البارزة تقليل المسافة بين الرقائق وتحقيق التعبئة والتغليف عالية كثافة.بالإضافة إلى ذلك ، يمكن تحقيق الترابط الدائم في درجة حرارة الغرفة من خلال علاج البلازما.
تستخدم مواد الترابط الهجين الموجودة مواد غير عضوية مثل أفلام أكسيد السيليكون ، ولكن يمكن أن يتم القبض على المواد الغريبة وتخلق فراغات ، مما يمكن أن يؤدي إلى مشاكل ذات صلة.من ناحية أخرى ، لا تزال تكنولوجيا الترابط باستخدام الراتنج تتطور.على الرغم من أنه من الممكن الانضمام بعد تغطية المسألة الأجنبية ، إلا أن الانضمام المؤقت يتم تنفيذه في حالة متدفقة ، لذلك من المحتمل أن يحدث الانحراف الموقعي.
تتمتع المواد الجديدة التي طورتها Mitsui Chemicals بميزة حل هذه المشكلات .ومع تقدم تقييم العملاء ، من المتوقع أن يتم تسويق مواد الترابط الجديدة في أقرب وقت ممكن في عام 2025.تخطط ميتسوي للكيماويات أيضًا لتطويرها في أول تطبيق لعملية في العالم بعد الشريط الواقي "ICROS" والفيلم الواقي للقناع "PELLICLE" ، أصبحت جزءًا من أعمال أشباه الموصلات ، مع مبيعات سنوية تزيد عن 10 مليارات ين كهدف متوسط إلى طويل الأجل.
